氣體常用知識

Special Gas 特性與鋼瓶更換切換點

化學式	中文名稱	易燃	非易燃	窒息	毒性	氧化性	腐蝕性	建議標準切換點	建議經濟切換點
H2	氫氣	◎						10%	5%
N2	氮氣		◎	◎				10%	5%
O2	氧氣					◎		10%	5%
He	氦氣		◎	◎				10%	3%
CF₄	四氟化碳		◎	◎				10%	3%
CH₄	甲烷	◎						10%	3%
Ar	氬氣		◎	◎				10%	5%
NO	一氧化氮			◎		◎		10%	5%
NF₃	三氟化碳				◎	◎	◎	10%	3%
SiF₄	四氟化矽				◎		◎	10%	3%
WF₆	六氟化鎢				◎		◎	10%	5%
Si₂H₆	二矽乙烷	◎			◎			10%	3%
PH₃	磷化氫	◎			◎			10%	3%
B₂H₆	二硼烷	◎			◎			10%	10%
SiH₄	矽甲烷	◎			◎			10%	5%
GeH₄	四氫化鍺	◎			◎			10%	5%
NH₃	氨	◎			◎		◎	10%	10%
SF₆	六氟化硫		◎	◎				10%	5%
HCl	鹽酸				◎		◎	10%	10%
Cl₂	氯				◎	◎	◎	10%	10%
HBr	溴化氫				◎		◎	10%~15%	10%~15%

SiCl₄	四氯化矽				◎		◎	10%	10%
BCl₃	三氯化硼				◎		◎	10%	10%
SiH₂Cl₂	二氯矽烷	◎			◎		◎	10%	10%
CHF₃	三氟甲烷			◎				10%	3%
C₂F₆	六氟乙烷		◎	◎				10%	3%
C₄F₈	八氟環丁烷			◎				10%	3%