Special Gas 特性與鋼瓶更換切換點

化學式 中文名稱 易燃 非易燃 窒息 毒性 氧化性 腐蝕性 建議標準切換點 建議經濟切換點
H2 氫氣                10% 5%
N2 氮氣             10% 5%
O2 氧氣                10% 5%
He 氦氣             10% 3%
CF4 四氟化碳             10% 3%
CH4 甲烷                10% 3%
Ar 氬氣             10% 5%
NO 一氧化氮             10% 5%
NF3 三氟化碳          10% 3%
SiF4 四氟化矽             10% 3%
WF6 六氟化鎢             10% 5%
Si2H6 二矽乙烷             10% 3%
PH3 磷化氫             10% 3%
B2H6 二硼烷             10% 10%
SiH4 矽甲烷             10% 5%
GeH4 四氫化鍺             10% 5%
NH3          10% 10%
SF6 六氟化硫             10% 5%
HCl 鹽酸             10% 10%
Cl2          10% 10%
HBr 溴化氫             10%~15% 10%~15%
N2O 一氧化二氮(笑氣)                10% 3%
SiCl4 四氯化矽             10% 10%
BCl3 三氯化硼             10% 10%
SiH2Cl2 二氯矽烷          10% 10%
CHF3 三氟甲烷                10% 3%
C2F6 六氟乙烷             10% 3%
C4F8 八氟環丁烷                10% 3%